SEMI S2/S 8

SEMIとは

SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International：国際半導体製造装置材料協会）は、半導体製造業界における国際的な標準化および業界団体であり、半導体製造装置、材料、プロセスなどに関連する規格やガイドラインの策定、標準化、技術の普及、業界関係者のネットワーキングなどを推進しています。

同協会の定めるSEMI規格は、半導体、太陽光パネル、LED、FPD（フラットパネルディスプレイ）などの製造機器に適用される安全規格(ガイドライン）です。 世界中の多くの半導体メーカーはその製造工程で使用される設備に対して第三者認証機関からSEMI規格に基づく適合性評価を要求しています。

代表的なガイドラインとして、環境および安全に関する必須要求事項を定めるSEMI S2、および人間工学的設計原則を定めるSEMI S8があり、製造工程で使用される設備・装置に対して多くのケースでこれらへの準拠が求められます。また、これらの規格・ガイドラインへの準拠にあたり、数多くの関連規格への準拠が要求されます。

SEMI規格

以下は代表的な規格の一覧です。

• SEMI S1 - Safety Guideline for Equipment Safety Labels
• SEMI S2 - Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
• SEMI S3 - Safety Guideline for Process Liquid Heating Systems
• SEMI S4 - Safety Guideline for the Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets SEMI
• S5 - Safety Guideline for Sizing and Identifying Flow Limiting Devices for Gases
• SEMI S6 - Environmental, Health, and Safety Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
• SEMI S7 - Safety Guideline for Evaluating Personnel and Evaluating Company Qualifications
• SEMI S8 - Safety Guideline for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
• SEMI S10 - Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
• SEMI S12 - Environmental, Health and Safety Guideline for Manufacturing Equipment Decontamination
• SEMI S13 - Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use With Manufacturing Equipment
• SEMI S14 - Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
• SEMI S16 - Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life
• SEMI S17 - Safety Guideline for Unmanned Transport Vehicle (UTV) Systems
• SEMI S18 - Environmental, Health and Safety Guideline for Flammable Silicon Compounds
• SEMI S19 - Safety Guideline for Training of Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel
• SEMI S21 - Safety Guideline for Worker Protection
• SEMI S22 - Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
• SEMI S23 - Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment
• SEMI S24 - Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas
• SEMI S25 - Safety Guideline for Hydrogen Peroxide Storage & Handling Systems
• SEMI S26 - Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System
• SEMI S27 - Safety Guideline for the Contents of Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation Reports
• SEMI S28 - Safety Guideline for Robots and Load Ports Intended for Use in Semiconductor Manufacturing Equipment
• SEMI S29 - Guide for Fluorinated Greenhouse Gas (F-GHG) Emission Characterization and Reduction
• SEMI S30 - Safety Guideline for Use of Energetic Materials in Semiconductor R&D and Manufacturing Processes

SAFTEX株式会社では自社エンジニア・メンバーシップ機関とのネットワークにより、各種SEMI規格試験および第三者適合レターの発行を行っています。